Machine de meulage vertical de semi-conducteurs (8 / 10 pouces)
JL-200SCG / JL-300SCGII
Poursuivant les caractéristiques supérieures du meulage vertical, la machine de meulage vertical des semi-conducteurs dispose d'un broche à air flottant innovante, principalement conçue pour le meulage de précision de matériaux durs et fragiles qui exigent une grande précision de surface et planéité.
Le corps de la machine à meuler est basé sur une structure soudée à haute rigidité, garantissant une stabilité exceptionnelle. Associé à la conception spéciale sans contact de la broche de précision, cela réduit considérablement les vibrations mécaniques et le bruit.
Équipé du contrôleur avancé Fanuc Oi, il permet un mouvement mécanique de haute précision. La rugosité de surface du wafer peut atteindre Ra 0,12 micromètres, garantissant une haute précision et une surface lisse supérieure dans les résultats d'usinage.
Caractéristiques
- Table flottante : Les spécifications de la table de travail sont divisées en 200SGC (8 pouces) et 300SCGII (12 pouces), avec une précision de rotation allant jusqu'à 0,1 μm. Équipée de mandrins à vide en céramique, cela empêche les rayures et les indentations de surface causées par la pression négative lors de la manipulation des pièces.
- Broche de haute précision : Le moteur est intégré dans l'assemblage de la broche. La précision de fonctionnement de la broche atteint 0,1 μm. La vitesse de rotation de la broche varie de 1000 à 5000 RPM.
- Structure principale : Structure soudée à haute rigidité, offrant une stabilité exceptionnelle pour réduire les vibrations pendant le processus d'usinage et améliorer efficacement la précision du meulage.
- Système de contrôle électrique : Équipé du contrôleur avancé Fanuc Oi, il permet un mouvement mécanique de haute précision.
Accessoires standard
- Meule diamantée.
- Flasque.
- Table de suction sous vide en céramique.
- Contrôleur de température de broche.
- Pompe à vide.
- Boîte à outils avec kits d'outils.
Accessoires optionnels
- Sècheur de précision.
- Jauge de hauteur.
Application
- Matériaux composites spéciaux fragiles : Cette machine est conçue pour le meulage de précision pour divers matériaux de travail, tels que des wafers, des céramiques, du quartz, du verre et des gemmes, etc.
Spécifications
Modèle | JL-200SCG | JL-300SCGII |
---|---|---|
CAP. de meulage MAX. | ||
Diamètre de la table de travail | Ø200mm | Ø300mm |
Broche | ||
De | Broche à air flottant | Broche à air flottant |
Nombre de broches (mm) | 1 | 1 |
Puissance du moteur servo | 3,7kw | 11kw |
Vitesse (tr/min) | 1000 ~ 5000tr/min | 1000 ~ 3000tr/min |
outil | Ø250mm meule diamant | Ø350mm meule diamant |
Axe Z | ||
Course | 120mm | 120 - 200mm |
Résolution d'alimentation | 0,1μm | 0,1μm |
Vitesse de mouvement rapide max. | 300 mm/min | 300 mm/min |
Tableau | ||
Course | Broche à air flottant | Broche à air flottant |
Nombre de tables | 1 | 1 |
Vitesse max. | 0 ~ 500tr/min | 0 ~ 500tr/min |
Jauge d'épaisseur (optionnelle) | ||
Plage de mesure | 0 ~ 1000tr/min | - |
Résolution | 0,1μm | - |
Répétabilité | ± 0,5μm | - |
Poids | ||
Poids de la machine | 2000kg | 3000kg |
Dimensions | ||
Espace machine | 600 (L) x 1700 (P) x 2100 (H) mm | 1100 (L) x 1950 (P) x 2100 (H) mm |
Précision de Machinage | ||
TTV | 1,5μm | 3μm |
Tolérance d'Épaisseur | - | ± 3μm |
Rugosité de surface | Ra 0,02μm | Ra 0,02μm (Pour wafer) |
Espace au sol | ||
L x l (incl. Équipement périphérique) | 3000 (L) x 2500 (l) mm | 2200 (L) x 1700 (l) mm |
- Télécharger
- Produits associés
Machine de meulage et de polissage double face à semi-conducteurs (16 pouces)
JL-D16
La machine de meulage double face JL-D16 est un dispositif de traitement de surface efficace conçu pour divers matériaux non métalliques et durs. Elle est adaptée au traitement de surface des matériaux...
Des détails
Machine de meulage vertical de semi-conducteurs (8 / 10 pouces) | Joen Lih: Solutions de meulage avancées pour l'aérospatiale et l'automobile
Joen Lih Machinery Co., Ltd., fondée en 1988, est un fabricant mondial de premier plan de machines de meulage de précision, y compris des Machine de meulage vertical de semi-conducteurs (8 / 10 pouces) de haute précision, des meuleuses planes, des meuleuses de profil et des équipements de polissage de semi-conducteurs avancés.Fort de plus de 20 ans d'expertise dans l'industrie, nous proposons des solutions sur mesure pour des secteurs tels que la médecine, l'aérospatial, le semi-conducteur et l'automobile, garantissant une stabilité et une précision inégalées.
Dédié à l'innovation, Joen Lih intègre l'automatisation et des technologies de pointe pour offrir des machines de broyage supérieures. Nous nous engageons à étendre notre portée mondiale, à améliorer l'efficacité de la production et la satisfaction des clients sur les marchés clés en Asie, en Europe et en Amérique.
JOENLIH est un fournisseur de machines de meulage de précision de premier plan depuis plus de 20 ans, tirant constamment parti des technologies de pointe pour offrir des solutions personnalisées qui répondent et dépassent les exigences spécifiques de chaque client.
Faits sur l'entreprise en chiffres
0
Nouveau numéro d'inventeur de semi-conducteurs.
0%
Satisfaction client
0
Ventes cumulées de machines