JL-200SCG / JL-300SCGII | Solutions de meulage et de polissage CNC sur mesure par Joen Lih

Machine de meulage vertical de semi-conducteurs, vue d'ensemble de face du JL-300SCGII | Nous sommes dédiés à fournir des solutions de meulage de surface CNC de classe mondiale pour répondre aux exigences élevées de nos clients en matière de précision et d'efficacité.

Machine de meulage vertical de semi-conducteurs (8 / 10 pouces) - Machine de meulage vertical de semi-conducteurs, vue d'ensemble de face du JL-300SCGII
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Machine de meulage vertical de semi-conducteurs (8 / 10 pouces)

JL-200SCG / JL-300SCGII

Poursuivant les caractéristiques supérieures du meulage vertical, la machine de meulage vertical des semi-conducteurs dispose d'un broche à air flottant innovante, principalement conçue pour le meulage de précision de matériaux durs et fragiles qui exigent une grande précision de surface et planéité.

Le corps de la machine à meuler est basé sur une structure soudée à haute rigidité, garantissant une stabilité exceptionnelle. Associé à la conception spéciale sans contact de la broche de précision, cela réduit considérablement les vibrations mécaniques et le bruit.
 
Équipé du contrôleur avancé Fanuc Oi, il permet un mouvement mécanique de haute précision. La rugosité de surface du wafer peut atteindre Ra 0,12 micromètres, garantissant une haute précision et une surface lisse supérieure dans les résultats d'usinage.

Caractéristiques

  • Table flottante : Les spécifications de la table de travail sont divisées en 200SGC (8 pouces) et 300SCGII (12 pouces), avec une précision de rotation allant jusqu'à 0,1 μm. Équipée de mandrins à vide en céramique, cela empêche les rayures et les indentations de surface causées par la pression négative lors de la manipulation des pièces.
  • Broche de haute précision : Le moteur est intégré dans l'assemblage de la broche. La précision de fonctionnement de la broche atteint 0,1 μm. La vitesse de rotation de la broche varie de 1000 à 5000 RPM.
  • Structure principale : Structure soudée à haute rigidité, offrant une stabilité exceptionnelle pour réduire les vibrations pendant le processus d'usinage et améliorer efficacement la précision du meulage.
  • Système de contrôle électrique : Équipé du contrôleur avancé Fanuc Oi, il permet un mouvement mécanique de haute précision.

Accessoires standard

  • Meule diamantée.
  • Flasque.
  • Table de suction sous vide en céramique.
  • Contrôleur de température de broche.
  • Pompe à vide.
  • Boîte à outils avec kits d'outils.

Accessoires optionnels

  • Sècheur de précision.
  • Jauge de hauteur.

Application

  • Matériaux composites spéciaux fragiles : Cette machine est conçue pour le meulage de précision pour divers matériaux de travail, tels que des wafers, des céramiques, du quartz, du verre et des gemmes, etc.

Spécifications

ModèleJL-200SCGJL-300SCGII
CAP. de meulage MAX.
Diamètre de la table de travailØ200mmØ300mm
Broche
DeBroche à air flottantBroche à air flottant
Nombre de broches (mm)11
Puissance du moteur servo3,7kw11kw
Vitesse (tr/min)1000 ~ 5000tr/min1000 ~ 3000tr/min
outilØ250mm
meule diamant
Ø350mm
meule diamant
Axe Z
Course120mm120 - 200mm
Résolution d'alimentation0,1μm0,1μm
Vitesse de mouvement rapide max.300 mm/min300 mm/min
Tableau
CourseBroche à air flottantBroche à air flottant
Nombre de tables11
Vitesse max.0 ~ 500tr/min0 ~ 500tr/min
Jauge d'épaisseur (optionnelle)
Plage de mesure0 ~ 1000tr/min-
Résolution0,1μm-
Répétabilité± 0,5μm-
Poids
Poids de la machine2000kg3000kg
Dimensions
Espace machine600 (L) x 1700 (P) x 2100 (H) mm1100 (L) x 1950 (P) x 2100 (H) mm
Précision de Machinage
TTV1,5μm3μm
Tolérance d'Épaisseur-± 3μm
Rugosité de surfaceRa 0,02μmRa 0,02μm (Pour wafer)
Espace au sol
L x l (incl. Équipement périphérique)3000 (L) x 2500 (l) mm2200 (L) x 1700 (l) mm
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Machine de meulage vertical de semi-conducteurs (8 / 10 pouces) | Joen Lih: Solutions de meulage avancées pour l'aérospatiale et l'automobile

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