(8 / 10 인치) 수직 반도체 연삭기 | Joen Lih: 의료 및 반도체 산업을 위한 정밀 CNC 연삭기
수직 연삭의 우수한 특성을 지속적으로 이어받은 수직 반도체 연삭기는 혁신적인 공기 부양 스핀들을 특징으로 하며, 주로 높은 표면 정확도와 평탄도를 요구하는 경질 및 취성 재료의 정밀 연삭을 위해 설계되었습니다. 전체 연삭 기계 본체는 고강성 용접 구조를 기반으로 하여 뛰어난 안정성을 보장합니다. 정밀 스핀들의 특별한 비접촉 설계와 결합되어 기계적 진동과 소음을 크게 줄입니다. 고급 Fanuc Oi 컨트롤러가 장착되어 있어 고정밀 기계 운동을 가능하게 합니다. 달성된 웨이퍼 표면 거칠기는 Ra 0.12 마이크로미터에 도달할 수 있어 가공 결과에서 높은 정밀도와 우수한 표면 매끄러움을 보장합니다.JOENLIH는 1988년부터 대만의 맞춤형 정밀 리니어 블록 연삭기, 웨이퍼 연삭기, 정밀 표면 연삭기 제조업체입니다. 대만의 연삭 기계 산업에서 30년 이상의 경험을 바탕으로, 우리는 소규모에서 대규모 운영에 이르기까지 다양한 요구에 맞춘 맞춤형 솔루션을 제공합니다. 혁신에 대한 우리의 헌신은 고품질 제품과 부가 가치를 보장하여 전 세계적으로 신뢰를 얻고 있습니다. 대만의 주요 연삭기 제조업체를 발견하세요. 30년 이상 산업에 서비스를 제공하고 있습니다. 우리는 지속적인 혁신, 최고 품질의 제품 및 맞춤형 서비스를 우선시하며 소규모에서 대규모 요구에 맞춘 맞춤형 솔루션을 제공합니다. 우리의 다양한 제품을 탐험하고 차이를 경험해 보세요.
(8 / 10 인치) 수직 반도체 연삭기
JL-200SCG / JL-300SCGII
수직 연삭의 우수한 특성을 지속적으로 이어받은 수직 반도체 연삭기는 혁신적인 공기 부양 스핀들을 특징으로 하며, 주로 높은 표면 정확도와 평탄도를 요구하는 경질 및 취성 재료의 정밀 연삭을 위해 설계되었습니다.
전체 연삭 기계 본체는 고강성 용접 구조를 기반으로 하여 뛰어난 안정성을 보장합니다. 정밀 스핀들의 특별한 비접촉 설계와 결합되어 기계적 진동과 소음을 크게 줄입니다.
고급 Fanuc Oi 컨트롤러가 장착되어 있어 고정밀 기계 운동을 가능하게 합니다. 달성된 웨이퍼 표면 거칠기는 Ra 0.12 마이크로미터에 도달할 수 있어 가공 결과에서 높은 정밀도와 우수한 표면 매끄러움을 보장합니다.
특징
- 공중 부양 테이블: 작업대 사양은 200SGC(8인치)와 300SCGII(12인치)로 나뉘며, 회전 정확도는 최대 0.1μm입니다. 세라믹 진공 척이 장착되어 있어 작업물 취급 중 음압으로 인한 표면 긁힘 및 움푹 들어간 자국을 방지합니다.
- 고정밀 스핀들: 모터가 스핀들 조립체에 내장되어 있습니다. 스핀들 작동 정확도는 0.1 μm에 도달합니다. 가변 스핀들 속도는 1000에서 5000 RPM까지 조정 가능합니다.
- 주 구조: 고강성 용접 구조로, 가공 과정에서 진동을 줄이고 연삭 정밀도를 효과적으로 향상시키는 뛰어난 안정성을 제공합니다.
- 전기 제어 시스템: 고급 Fanuc Oi 컨트롤러가 장착되어 있어 고정밀 기계 운동을 가능하게 합니다.
표준 액세서리
- 다이아몬드 연마 휠.
- 플랜지.
- 세라믹 진공 흡입 테이블.
- 스핀들 온도 조절기.
- 진공 펌프.
- 도구 키트가 포함된 도구 상자.
선택적 액세서리
- 정밀 건조기.
- 높이 게이지.
응용 프로그램
- 취성 특수 복합 재료: 이 기계는 웨이퍼, 세라믹, 석영, 유리 및 보석 등 다양한 작업장 재료의 정밀 연삭을 위해 설계되었습니다.
사양
| 모델 | JL-200SCG | JL-300SCGII |
|---|---|---|
| 최대 연삭 용량 | ||
| 작업 테이블 직경 | Ø200mm | Ø300mm |
| 스핀들 | ||
| 부터 | 공기 부양 스핀들 | 공기 부양 스핀들 |
| 스핀들 수 (mm) | 1 | 1 |
| 서보 모터 전력 | 3.7kw | 11kw |
| 속도 (rpm) | 1000 ~ 5000rpm | 1000 ~ 3000rpm |
| 도구 | Ø250mm 다이아몬드 연삭 휠 | Ø350mm 다이아몬드 연삭 휠 |
| Z 축 | ||
| 스트로크 | 120mm | 120 - 200mm |
| 피드 해상도 | 0.1μm | 0.1μm |
| 최대 급속 이동 속도 | 300 mm/min | 300 mm/min |
| 테이블 | ||
| 스트로크 | 공기 부양 스핀들 | 공기 부양 스핀들 |
| 테이블 수 | 1 | 1 |
| 최대 속도 | 0 ~ 500rpm | 0 ~ 500rpm |
| 두께 게이지 (선택 사항) | ||
| 측정 범위 | 0 ~ 1000rpm | - |
| 해상도 | 0.1μm | - |
| 재현성 | ± 0.5μm | - |
| 무게 | ||
| 기계 중량 | 2000kg | 3000kg |
| 치수 | ||
| 기계 공간 | 600 (W) x 1700 (D) x 2100 (H) mm | 1100 (W) x 1950 (D) x 2100 (H) mm |
| 가공 정확도 | ||
| TTV | 1.5μm | 3μm |
| 두께 허용오차 | - | ± 3μm |
| 표면 거칠기 | Ra 0.02μm | Ra 0.02μm (웨이퍼용) |
| 바닥 면적 | ||
| L x W (주변 장비 포함) | 3000 (L) x 2500 (W) mm | 2200 (L) x 1700 (W) mm |
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(8 / 10 인치) 수직 반도체 연삭기 | Joen Lih: 항공우주 및 자동차를 위한 첨단 연삭 솔루션
Joen Lih Machinery Co., Ltd.는 1988년에 설립된 정밀 연삭 기계의 세계적인 선두 제조업체로, 고정밀 (8 / 10 인치) 수직 반도체 연삭기, 평면 연삭기, 프로파일 연삭기 및 첨단 반도체 연마 장비를 포함합니다.20년 이상의 산업 전문성을 바탕으로 의료, 항공우주, 반도체 및 자동차와 같은 분야에 맞춤형 솔루션을 제공하여 비할 데 없는 안정성과 정밀성을 보장합니다.
혁신에 전념하는 Joen Lih는 자동화 및 최첨단 기술을 통합하여 우수한 연삭 기계를 제공합니다. 우리는 아시아, 유럽 및 아메리카의 주요 시장에서 글로벌 범위를 확장하고 생산 효율성 및 고객 만족도를 향상시키기 위해 노력하고 있습니다.
JOENLIH는 20년 이상 정밀 연삭 기계의 선도적인 공급업체로, 최첨단 기술을 지속적으로 활용하여 각 고객의 특정 요구 사항을 충족하고 초과하는 맞춤형 솔루션을 제공합니다.
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