(8 / 10 Zoll) Vertikale Halbleiter-Schleifmaschine
JL-200SCG / JL-300SCGII
Die fortschrittlichen Eigenschaften des vertikalen Schleifens werden in der Vertikalen Halbleiter-Schleifmaschine fortgeführt, die über eine innovative luftschwebende Spindel verfügt, die hauptsächlich für das Präzisionsschleifen von harten und spröden Materialien entwickelt wurde, die hohe Oberflächengenauigkeit und Ebenheit erfordern.
Der gesamte Schleifmaschinenkörper basiert auf einer hochsteifen geschweißten Struktur, die außergewöhnliche Stabilität gewährleistet. In Kombination mit dem speziellen kontaktlosen Design der Präzisionsspindel reduziert es mechanische Vibrationen und Geräusche erheblich.
Ausgestattet mit dem fortschrittlichen Fanuc Oi-Controller ermöglicht es hochpräzise mechanische Bewegungen. Die erreichte Oberflächenrauhigkeit des Wafers kann Ra 0,12 Mikrometer erreichen, was hohe Präzision und überlegene Oberflächenglätte in den Bearbeitungsergebnissen gewährleistet.
Funktionen
- Luftschwebender Tisch: Die Spezifikationen des Arbeitstisches sind in 200SGC (8 Zoll) und 300SCGII (12 Zoll) unterteilt, mit einer Drehgenauigkeit von bis zu 0,1 μm. Ausgestattet mit keramischen Vakuumspannfuttern verhindert dies Oberflächenkratzer und Eindellungen, die durch den Unterdruck während der Handhabung von Werkstücken verursacht werden.
- Hochpräzisionsspindel: Der Motor ist in der Spindelbaugruppe integriert. Die Spindellaufgenauigkeit erreicht 0,1 μm. Die variable Spindeldrehzahl reicht von 1000 bis 5000 U/min.
- Hauptstruktur: Hochsteifigkeitsgeschweißte Struktur, die außergewöhnliche Stabilität bietet, um Vibrationen während des Bearbeitungsprozesses zu reduzieren und die Schleifpräzision effektiv zu verbessern.
- Elektrisches Steuerungssystem: Ausgestattet mit dem fortschrittlichen Fanuc Oi-Controller ermöglicht es hochpräzise mechanische Bewegungen.
Standardzubehör
- Diamant-Schleifscheibe.
- Flansch.
- Keramischer Vakuum-Saugtisch.
- Spindeltemperaturregler.
- Vakuumpumpe.
- Werkzeugkasten mit Werkzeugsets.
Optionale Zubehörteile
- Präzisionstrockner.
- Höhenmessgerät.
Anwendung
- Spröde Spezialverbundmaterialien: Diese Maschine ist für das Präzisionsschleifen verschiedener Werkstoffmaterialien wie Wafer, Keramiken, Quarz, Glas und Edelsteine usw. konzipiert.
Spezifikation
Modell | JL-200SCG | JL-300SCGII |
---|---|---|
MAX. Schleifkapazität | ||
Durchmesser der Arbeitsplatte | Ø200mm | Ø300mm |
Spindel | ||
Von | Luftschwebespindel | Luftschwebespindel |
Anzahl der Spindeln (mm) | 1 | 1 |
Servo-Motorleistung | 3,7 kW | 11 kW |
Geschwindigkeit (U/min) | 1000 ~ 5000 U/min | 1000 ~ 3000 U/min |
Werkzeug | Ø250mm Diamant-Schleifscheibe | Ø350mm Diamant-Schleifscheibe |
Z-Achse | ||
Hub | 120mm | 120 - 200mm |
Vorschubauflösung | 0,1μm | 0,1μm |
Max. Schnelligkeit der schnellen Bewegung | 300 mm/min | 300 mm/min |
Tisch | ||
Hub | Luftschwebespindel | Luftschwebespindel |
Anzahl der Tische | 1 | 1 |
Max. Geschwindigkeit | 0 ~ 500 U/min | 0 ~ 500 U/min |
Dickenmessgerät (Optional) | ||
Messbereich | 0 ~ 1000 U/min | - |
Auflösung | 0,1μm | - |
Wiederholgenauigkeit | ± 0,5 μm | - |
Gewicht | ||
Maschinengewicht | 2000 kg | 3000 kg |
Dimensionen | ||
Maschinenraum | 600 (B) x 1700 (T) x 2100 (H) mm | 1100 (B) x 1950 (T) x 2100 (H) mm |
Bearbeitungsgenauigkeit | ||
TTV | 1,5μm | 3μm |
Dicken-Toleranz | - | ± 3μm |
Oberflächenrauhigkeit | Ra 0,02μm | Ra 0,02μm (Für Wafer) |
Fläche | ||
L x B (inkl. Peripheriegeräte) | 3000 (L) x 2500 (B) mm | 2200 (L) x 1700 (B) mm |
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Engagiert für Innovation integriert Joen Lih Automatisierung und modernste Technologien, um überlegene Schleifmaschinen zu liefern. Wir sind bestrebt, unsere globale Reichweite zu erweitern, die Produktionseffizienz zu steigern und die Kundenzufriedenheit in wichtigen Märkten in Asien, Europa und Amerika zu verbessern.
JOENLIH ist seit über 20 Jahren ein führender Anbieter von Präzisionsschleifmaschinen und nutzt konsequent modernste Technologie, um maßgeschneiderte Lösungen zu liefern, die die spezifischen Anforderungen jedes Kunden erfüllen und übertreffen.
Unternehmensfakten in Zahlen
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Halbleiter Neuerfinder Nr.
0%
Kundenzufriedenheit
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Kumulative Maschinenverkäufe