JL-200SCG / JL-300SCGII| Индивидуальные решения для шлифовки и полировки с ЧПУ от Joen Lih

Вертикальный станок для шлифовки полупроводников, общий вид спереди JL-300SCGII| Мы стремимся предоставлять решения для шлифовки поверхностей с ЧПУ мирового класса, чтобы удовлетворить высокие требования наших клиентов к точности и эффективности.

(8 / 10 дюймов) Вертикальный станок для шлифовки полупроводников - Вертикальный станок для шлифовки полупроводников, общий вид спереди JL-300SCGII
  • (8 / 10 дюймов) Вертикальный станок для шлифовки полупроводников - Вертикальный станок для шлифовки полупроводников, общий вид спереди JL-300SCGII

(8 / 10 дюймов) Вертикальный станок для шлифовки полупроводников

JL-200SCG / JL-300SCGII

Продолжая превосходные характеристики вертикального шлифования, Вертикальная полупроводниковая шлифовальная машина оснащена инновационным воздушно-подвесным шпинделем, который в первую очередь предназначен для прецизионного шлифования твердых и хрупких материалов, требующих высокой точности поверхности и плоскостности.

Общая конструкция шлифовального станка основана на сварной конструкции с высокой жесткостью, что обеспечивает исключительную стабильность. В сочетании с особым бесконтактным дизайном прецизионного шпинделя это значительно снижает механические вибрации и шум.
 
Оснащен современным контроллером Fanuc Oi, что позволяет осуществлять высокоточные механические движения. Шероховатость поверхности вафли может достигать Ra 0,12 микрометра, что обеспечивает высокую точность и превосходную гладкость поверхности в результатах обработки.

Особенности

  • Воздушный плавающий стол: Спецификации рабочего стола делятся на 200SGC (8 дюймов) и 300SCGII (12 дюймов) с точностью вращения до 0,1 мкм. Оснащенный керамическими вакуумными зажимами, он предотвращает появление царапин и вмятин на поверхности, вызванных отрицательным давлением во время обработки заготовок.
  • Высокоточный шпиндель: мотор встроен в сборку шпинделя. Точность работы шпинделя достигает 0,1 мкм. Переменная скорость шпинделя варьируется от 1000 до 5000 об/мин.
  • Основная структура: сварная конструкция с высокой жесткостью, обеспечивающая исключительную стабильность для снижения вибраций в процессе обработки и эффективного повышения точности шлифования.
  • Электрическая система управления: оснащена современным контроллером Fanuc Oi, что позволяет осуществлять высокоточные механические движения.

Стандартные аксессуары

  • Алмазный шлифовальный круг.
  • Фланец.
  • Керамический вакуумный всасывающий стол.
  • Контроллер температуры шпинделя.
  • Вакуумный насос.
  • Ящик для инструментов с наборами инструментов.

Дополнительные аксессуары

  • Прецизионный сушильный аппарат.
  • Измеритель высоты.

Приложение

  • Хрупкие специальные композитные материалы: Эта машина предназначена для прецизионной шлифовки различных рабочих материалов, таких как вафли, керамика, кварц, стекло и драгоценные камни и т.д.

Спецификация

МодельJL-200SCGJL-300SCGII
Макс. шлифовальная способность
Диаметр рабочего столаØ200ммØ300мм
Шпиндель
ОтВоздушный плавающий шпиндельВоздушный плавающий шпиндель
Количество шпинделей (мм)11
Мощность сервомотора3.7кВт11кВт
Скорость (об/мин)1000 ~ 5000об/мин1000 ~ 3000об/мин
инструментØ250mm
алмазный шлифовальный круг
Ø350mm
алмазный шлифовальный круг
Ось Z
Ход120 мм120 - 200 мм
Разрешение подачи0.1 мкм0.1 мкм
Макс. скорость быстрого перемещения300 мм/мин300 мм/мин
Стол
ХодВоздушный плавающий шпиндельВоздушный плавающий шпиндель
Количество столов11
Макс. скорость0 ~ 500 об/мин0 ~ 500 об/мин
Точность толщины (по желанию)
Диапазон измерений0 ~ 1000 об/мин-
Разрешение0.1 мкм-
Повторяемость± 0.5 мкм-
Вес
Вес машины2000 кг3000 кг
Размеры
Рабочее пространство600 (Ш) x 1700 (Г) x 2100 (В) мм1100 (Ш) x 1950 (Г) x 2100 (В) мм
Точность обработки
TTV1.5μm3μm
Допуск по толщине-± 3μm
Шероховатость поверхностиRa 0.02μmRa 0.02μm (для ваферов)
Площадь пола
Д x Ш (включая периферийное оборудование)3000 (Д) x 2500 (Ш) мм2200 (Д) x 1700 (Ш) мм
Скачать
Связанные продукты

Всеобъемлющий каталог

Изучите премиум-продукты Joen Lih на первый взгляд.

(8 / 10 дюймов) Вертикальный станок для шлифовки полупроводников | Joen Lih: Современные шлифовальные решения для аэрокосмической и автомобильной промышленности

Joen Lih Machinery Co., Ltd., основанная в 1988 году, является ведущим мировым производителем прецизионных шлифовальных машин, включая высокоточные (8 / 10 дюймов) Вертикальный станок для шлифовки полупроводников, плоскошлифовальные станки, профильные шлифовальные станки и современное оборудование для полировки полупроводников.С более чем 20-летним опытом в отрасли мы предлагаем индивидуальные решения для таких секторов, как медицина, аэрокосмическая промышленность, полупроводники и автомобилестроение, обеспечивая непревзойденную стабильность и точность.

Посвященный инновациям, Joen Lih интегрирует автоматизацию и передовые технологии для предоставления высококачественного шлифовального оборудования. Мы стремимся расширять наше глобальное присутствие, повышать производственную эффективность и удовлетворенность клиентов на ключевых рынках Азии, Европы и Америки.

JOENLIH является ведущим поставщиком прецизионного шлифовального оборудования более 20 лет, постоянно используя передовые технологии для предоставления индивидуальных решений, которые соответствуют и превосходят конкретные требования каждого клиента.

Факты о компании в цифрах

0

Номер нового изобретателя полупроводников

0%

Удовлетворенность клиентов

0

Кумулятивные продажи машин