(8 / 10 дюймов) Вертикальный станок для шлифовки полупроводников
JL-200SCG / JL-300SCGII
Продолжая превосходные характеристики вертикального шлифования, Вертикальная полупроводниковая шлифовальная машина оснащена инновационным воздушно-подвесным шпинделем, который в первую очередь предназначен для прецизионного шлифования твердых и хрупких материалов, требующих высокой точности поверхности и плоскостности.
Общая конструкция шлифовального станка основана на сварной конструкции с высокой жесткостью, что обеспечивает исключительную стабильность. В сочетании с особым бесконтактным дизайном прецизионного шпинделя это значительно снижает механические вибрации и шум.
Оснащен современным контроллером Fanuc Oi, что позволяет осуществлять высокоточные механические движения. Шероховатость поверхности вафли может достигать Ra 0,12 микрометра, что обеспечивает высокую точность и превосходную гладкость поверхности в результатах обработки.
Особенности
- Воздушный плавающий стол: Спецификации рабочего стола делятся на 200SGC (8 дюймов) и 300SCGII (12 дюймов) с точностью вращения до 0,1 мкм. Оснащенный керамическими вакуумными зажимами, он предотвращает появление царапин и вмятин на поверхности, вызванных отрицательным давлением во время обработки заготовок.
- Высокоточный шпиндель: мотор встроен в сборку шпинделя. Точность работы шпинделя достигает 0,1 мкм. Переменная скорость шпинделя варьируется от 1000 до 5000 об/мин.
- Основная структура: сварная конструкция с высокой жесткостью, обеспечивающая исключительную стабильность для снижения вибраций в процессе обработки и эффективного повышения точности шлифования.
- Электрическая система управления: оснащена современным контроллером Fanuc Oi, что позволяет осуществлять высокоточные механические движения.
Стандартные аксессуары
- Алмазный шлифовальный круг.
- Фланец.
- Керамический вакуумный всасывающий стол.
- Контроллер температуры шпинделя.
- Вакуумный насос.
- Ящик для инструментов с наборами инструментов.
Дополнительные аксессуары
- Прецизионный сушильный аппарат.
- Измеритель высоты.
Приложение
- Хрупкие специальные композитные материалы: Эта машина предназначена для прецизионной шлифовки различных рабочих материалов, таких как вафли, керамика, кварц, стекло и драгоценные камни и т.д.
Спецификация
Модель | JL-200SCG | JL-300SCGII |
---|---|---|
Макс. шлифовальная способность | ||
Диаметр рабочего стола | Ø200мм | Ø300мм |
Шпиндель | ||
От | Воздушный плавающий шпиндель | Воздушный плавающий шпиндель |
Количество шпинделей (мм) | 1 | 1 |
Мощность сервомотора | 3.7кВт | 11кВт |
Скорость (об/мин) | 1000 ~ 5000об/мин | 1000 ~ 3000об/мин |
инструмент | Ø250mm алмазный шлифовальный круг | Ø350mm алмазный шлифовальный круг |
Ось Z | ||
Ход | 120 мм | 120 - 200 мм |
Разрешение подачи | 0.1 мкм | 0.1 мкм |
Макс. скорость быстрого перемещения | 300 мм/мин | 300 мм/мин |
Стол | ||
Ход | Воздушный плавающий шпиндель | Воздушный плавающий шпиндель |
Количество столов | 1 | 1 |
Макс. скорость | 0 ~ 500 об/мин | 0 ~ 500 об/мин |
Точность толщины (по желанию) | ||
Диапазон измерений | 0 ~ 1000 об/мин | - |
Разрешение | 0.1 мкм | - |
Повторяемость | ± 0.5 мкм | - |
Вес | ||
Вес машины | 2000 кг | 3000 кг |
Размеры | ||
Рабочее пространство | 600 (Ш) x 1700 (Г) x 2100 (В) мм | 1100 (Ш) x 1950 (Г) x 2100 (В) мм |
Точность обработки | ||
TTV | 1.5μm | 3μm |
Допуск по толщине | - | ± 3μm |
Шероховатость поверхности | Ra 0.02μm | Ra 0.02μm (для ваферов) |
Площадь пола | ||
Д x Ш (включая периферийное оборудование) | 3000 (Д) x 2500 (Ш) мм | 2200 (Д) x 1700 (Ш) мм |
- Скачать
- Связанные продукты
(8 / 10 дюймов) Вертикальный станок для шлифовки полупроводников | Joen Lih: Современные шлифовальные решения для аэрокосмической и автомобильной промышленности
Joen Lih Machinery Co., Ltd., основанная в 1988 году, является ведущим мировым производителем прецизионных шлифовальных машин, включая высокоточные (8 / 10 дюймов) Вертикальный станок для шлифовки полупроводников, плоскошлифовальные станки, профильные шлифовальные станки и современное оборудование для полировки полупроводников.С более чем 20-летним опытом в отрасли мы предлагаем индивидуальные решения для таких секторов, как медицина, аэрокосмическая промышленность, полупроводники и автомобилестроение, обеспечивая непревзойденную стабильность и точность.
Посвященный инновациям, Joen Lih интегрирует автоматизацию и передовые технологии для предоставления высококачественного шлифовального оборудования. Мы стремимся расширять наше глобальное присутствие, повышать производственную эффективность и удовлетворенность клиентов на ключевых рынках Азии, Европы и Америки.
JOENLIH является ведущим поставщиком прецизионного шлифовального оборудования более 20 лет, постоянно используя передовые технологии для предоставления индивидуальных решений, которые соответствуют и превосходят конкретные требования каждого клиента.
Факты о компании в цифрах
0
Номер нового изобретателя полупроводников
0%
Удовлетворенность клиентов
0
Кумулятивные продажи машин