(8 / 10インチ) 垂直半導体研削機 | Joen Lih: 医療および半導体産業向けの精密CNC研削機
垂直研削の優れた特性を引き継いだ垂直半導体研削機は、主に高い表面精度と平坦性を要求する硬く脆い材料の精密研削のために設計された革新的なエアフローティングスピンドルを特徴としています。 全体の研削機本体は高剛性の溶接構造に基づいており、卓越した安定性を確保しています。精密スピンドルの特別な非接触設計と組み合わせることで、機械的振動と騒音を大幅に低減します。 先進的なファナックOiコントローラーを搭載し、高精度の機械運動を実現します。達成されるウエハ表面粗さはRa 0.12マイクロメートルに達し、加工結果において高精度と優れた表面の滑らかさを保証します。JOENLIHは1988年から台湾のカスタム精密リニアブロック研削機、ウェーハ研削機、精密平面研削機の製造業者です。 台湾の研削機械業界で30年以上の経験を持ち、私たちは小規模から大規模な運用まで、多様なニーズに応じたカスタマイズソリューションを提供しています。 私たちの革新への献身は、高品質な製品と付加価値を保証し、世界中で信頼を得ています。 台湾の主要な研削機メーカーを発見し、30年以上にわたり業界に貢献しています。 私たちは、小規模から大規模なニーズに応じたカスタマイズされたソリューションを提供し、継続的な革新、最高品質の製品、そしてカスタマイズ可能なサービスを優先しています。 私たちの製品を探索し、その違いを体験してください。
(8 / 10インチ) 垂直半導体研削機
JL-200SCG / JL-300SCGII
垂直研削の優れた特性を引き継いだ垂直半導体研削機は、主に高い表面精度と平坦性を要求する硬く脆い材料の精密研削のために設計された革新的なエアフローティングスピンドルを特徴としています。
全体の研削機本体は高剛性の溶接構造に基づいており、卓越した安定性を確保しています。精密スピンドルの特別な非接触設計と組み合わせることで、機械的振動と騒音を大幅に低減します。
先進的なファナックOiコントローラーを搭載し、高精度の機械運動を実現します。達成されるウエハ表面粗さはRa 0.12マイクロメートルに達し、加工結果において高精度と優れた表面の滑らかさを保証します。
特徴
- エアフローティングテーブル：作業台の仕様は200SGC（8インチ）と300SCGII（12インチ）に分かれており、回転精度は最大0.1μmです。セラミック真空チャックを装備しており、これによりワークピースの取り扱い中に発生する負圧による表面の傷やへこみを防ぎます。
- 高精度スピンドル：モーターはスピンドルアセンブリに内蔵されています。スピンドルの運転精度は0.1μmに達します。可変スピンドル速度は1000から5000 RPMの範囲です。
- 主構造：高剛性溶接構造で、加工プロセス中の振動を低減し、研削精度を効果的に向上させる優れた安定性を提供します。
- 電気制御システム：先進的なファナックOiコントローラーを搭載し、高精度の機械運動を実現します。
標準アクセサリー
- ダイヤモンド研削ホイール。
- フランジ。
- セラミック真空吸引テーブル。
- スピンドル温度コントローラー。
- 真空ポンプ。
- ツールキット付きツールボックス。
オプションアクセサリー
- 精密乾燥機。
- 高さゲージ。
アプリケーション
- 脆い特殊複合材料：この機械は、ウェーハ、セラミック、石英、ガラス、宝石など、さまざまな作業材料の精密研削用に設計されています。
仕様
| モデル | JL-200SCG | JL-300SCGII |
|---|---|---|
| 最大研削能力 | ||
| 作業テーブルの直径 | Ø200mm | Ø300mm |
| スピンドル | ||
| から | エアフローティングスピンドル | エアフローティングスピンドル |
| スピンドルの数 (mm) | 1 | 1 |
| サーボモーターパワー | 3.7kw | 11kw |
| 速度（rpm） | 1000 ~ 5000rpm | 1000 ~ 3000rpm |
| ツール | Ø250mm ダイヤモンド研削ホイール | Ø350mm ダイヤモンド研削ホイール |
| Z軸 | ||
| ストローク | 120mm | 120 - 200mm |
| フィード解像度 | 0.1μm | 0.1μm |
| 最大急速移動速度 | 300 mm/min | 300 mm/min |
| テーブル | ||
| ストローク | エアフローティングスピンドル | エアフローティングスピンドル |
| テーブルの数 | 1 | 1 |
| 最大速度 | 0 ~ 500rpm | 0 ~ 500rpm |
| 厚さゲージ（オプション） | ||
| 測定範囲 | 0 ~ 1000rpm | - |
| 分解能 | 0.1μm | - |
| 再現性 | ± 0.5μm | - |
| 重量 | ||
| 機械重量 | 2000kg | 3000kg |
| 寸法 | ||
| 機械スペース | 600 (W) x 1700 (D) x 2100 (H) mm | 1100 (W) x 1950 (D) x 2100 (H) mm |
| 加工精度 | ||
| TTV | 1.5μm | 3μm |
| 厚さ公差 | - | ± 3μm |
| 表面粗さ | Ra 0.02μm | Ra 0.02μm（ウェーハ用） |
| フロアスペース | ||
| L x W（周辺機器を含む） | 3000（L）x 2500（W）mm | 2200（L）x 1700（W）mm |
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(8 / 10インチ) 垂直半導体研削機 | Joen Lih: 航空宇宙および自動車向けの先進的な研削ソリューション
Joen Lih Machinery Co., Ltd.は1988年に設立され、高精度(8 / 10インチ) 垂直半導体研削機、平面研削盤、形状研削盤、先進的な半導体研磨装置を含む精密研削機械の世界的なリーディングメーカーです。20年以上の業界経験を持ち、医療、航空宇宙、半導体、自動車などの分野に特化したカスタマイズソリューションを提供し、比類のない安定性と精度を確保しています。
革新に専念するJoen Lihは、自動化と最先端技術を統合して、優れた研削機械を提供します。私たちは、アジア、ヨーロッパ、アメリカの主要市場での生産効率と顧客満足度を向上させ、グローバルなリーチを拡大することにコミットしています。
JOENLIHは20年以上にわたり精密研削機械の主要な提供者であり、最先端の技術を活用して、各顧客の特定の要件を満たし、超えるカスタマイズされたソリューションを提供し続けています。
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