JL-200SCG / JL-300SCGIIJoen LihによるカスタムCNC研削およびポリッシングソリューション

垂直半導体研削機、JL-300SCGIIの全体前面図私たちは、精度と効率に対するお客様の高い要求を満たすために、世界クラスのCNC表面研削ソリューションを提供することに専念しています。

(8 / 10インチ) 垂直半導体研削機 - 垂直半導体研削機、JL-300SCGIIの全体前面図
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(8 / 10インチ) 垂直半導体研削機

JL-200SCG / JL-300SCGII

垂直研削の優れた特性を引き継いだ垂直半導体研削機は、主に高い表面精度と平坦性を要求する硬く脆い材料の精密研削のために設計された革新的なエアフローティングスピンドルを特徴としています。

全体の研削機本体は高剛性の溶接構造に基づいており、卓越した安定性を確保しています。精密スピンドルの特別な非接触設計と組み合わせることで、機械的振動と騒音を大幅に低減します。
 
先進的なファナックOiコントローラーを搭載し、高精度の機械運動を実現します。達成されるウエハ表面粗さはRa 0.12マイクロメートルに達し、加工結果において高精度と優れた表面の滑らかさを保証します。

特徴

  • エアフローティングテーブル:作業台の仕様は200SGC(8インチ)と300SCGII(12インチ)に分かれており、回転精度は最大0.1μmです。セラミック真空チャックを装備しており、これによりワークピースの取り扱い中に発生する負圧による表面の傷やへこみを防ぎます。
  • 高精度スピンドル:モーターはスピンドルアセンブリに内蔵されています。スピンドルの運転精度は0.1μmに達します。可変スピンドル速度は1000から5000 RPMの範囲です。
  • 主構造:高剛性溶接構造で、加工プロセス中の振動を低減し、研削精度を効果的に向上させる優れた安定性を提供します。
  • 電気制御システム:先進的なファナックOiコントローラーを搭載し、高精度の機械運動を実現します。

標準アクセサリー

  • ダイヤモンド研削ホイール。
  • フランジ。
  • セラミック真空吸引テーブル。
  • スピンドル温度コントローラー。
  • 真空ポンプ。
  • ツールキット付きツールボックス。

オプションアクセサリー

  • 精密乾燥機。
  • 高さゲージ。

アプリケーション

  • 脆い特殊複合材料:この機械は、ウェーハ、セラミック、石英、ガラス、宝石など、さまざまな作業材料の精密研削用に設計されています。

仕様

モデルJL-200SCGJL-300SCGII
最大研削能力
作業テーブルの直径Ø200mmØ300mm
スピンドル
からエアフローティングスピンドルエアフローティングスピンドル
スピンドルの数 (mm)11
サーボモーターパワー3.7kw11kw
速度 (rpm)1000 ~ 5000rpm1000 ~ 3000rpm
ツールØ250mm
ダイヤモンド研削ホイール
Ø350mm
ダイヤモンド研削ホイール
Z軸
ストローク120mm120 - 200mm
フィード解像度0.1μm0.1μm
最大急速移動速度300 mm/min300 mm/min
テーブル
ストロークエアフローティングスピンドルエアフローティングスピンドル
テーブルの数11
最大速度0 ~ 500rpm0 ~ 500rpm
厚さゲージ(オプション)
測定範囲0 ~ 1000rpm-
分解能0.1μm-
再現性± 0.5μm-
重量
機械重量2000kg3000kg
寸法
機械スペース600 (W) x 1700 (D) x 2100 (H) mm1100 (W) x 1950 (D) x 2100 (H) mm
加工精度
TTV1.5μm3μm
厚さ公差-± 3μm
表面粗さRa 0.02μmRa 0.02μm(ウェーハ用)
フロアスペース
L x W(周辺機器を含む)3000(L)x 2500(W)mm2200(L)x 1700(W)mm
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(8 / 10インチ) 垂直半導体研削機 | Joen Lih: 航空宇宙および自動車向けの先進的な研削ソリューション

Joen Lih Machinery Co., Ltd.は1988年に設立され、高精度(8 / 10インチ) 垂直半導体研削機、平面研削盤、形状研削盤、先進的な半導体研磨装置を含む精密研削機械の世界的なリーディングメーカーです。20年以上の業界経験を持ち、医療、航空宇宙、半導体、自動車などの分野に特化したカスタマイズソリューションを提供し、比類のない安定性と精度を確保しています。

革新に専念するJoen Lihは、自動化と最先端技術を統合して、優れた研削機械を提供します。私たちは、アジア、ヨーロッパ、アメリカの主要市場での生産効率と顧客満足度を向上させ、グローバルなリーチを拡大することにコミットしています。

JOENLIHは20年以上にわたり精密研削機械の主要な提供者であり、最先端の技術を活用して、各顧客の特定の要件を満たし、超えるカスタマイズされたソリューションを提供し続けています。

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