(16吋) 半導體晶圓雙面研磨 / 拋光機

晶圓雙面研磨/拋光機,JL-D16的整體外觀正視圖 / 準力機械致力於提供世界級的CNC表面研磨機解決方案,以滿足客戶對精準度和效率的高要求。

(16吋) 半導體晶圓雙面研磨 / 拋光機 - 晶圓雙面研磨/拋光機,JL-D16的整體外觀正視圖
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(16吋) 半導體晶圓雙面研磨 / 拋光機

JL-D16

JL-D16雙面研磨機是一種高效率的表面處理設備,適用於各種非金屬和硬質材料的表面加工。這包括半導體製造中常用的矽晶圓、石英、碳化矽(SIC)、玻璃等。

JL-D16具有出色的加工能力,能夠實現平面工件的雙面研磨或拋光。該機型注重品質,可以實現極小的加工厚度,最小可達到0.4mm。同時,在產品經過加工後,表面的精度可以達到0.3μm,確保高度的加工精確性。

這款新型JL-D16雙面研磨機兼具雙面研磨和拋光功能,實現了兩者的一體化,從而提高了工作效率並降低了成本。這使得該設備在表面處理應用中成為一個全面而高效的解決方案。

產品特性

  • 研磨機構:採用游星式運轉設計,能夠實現最佳的研磨性能和研磨表面效果。研磨機構還具有正逆轉功能,這使得研磨過程更加靈活和全面。配備了5組游星輪夾具,可同時放置多個工件進行研磨,提高了生產效率,並確保工件都能獲得均勻且高品質的研磨效果。
  • 功能兩體一機:可同時為平面工件進行雙面研磨或拋光,增加工作效率,及減少成本,且最小加工厚度可達0.4MM,加工後的表面精度可達到0.3μm。
  • 工件多工:具備5組游星輪夾具的特點,能夠同時夾持並處理多個工件進行研磨,提升了生產效率和多工件處理的能力,使生產線更具靈活性和適應性。每組游星輪夾具都是獨立的夾持裝置,可進行獨立調整,確保每個工件都獲得適當的夾持力和位置。避免同時加工多個工件時不會相互干擾,使整體加工具穩定性和精確性。
  • 智能電控系統:採用PLC控制器,可選配人機介面面板,提供操作者簡易的操作性。

選配配件

  • 自動厚度控制功能
  • 人機介面面板

產品應用

  • 非金屬及硬碎材料之表面加工:包括矽晶圓、石英、SIC、玻璃、藍寶石、陶瓷基板,以及加工金屬材料,如鋁材、不鏽鋼和機械油封

產品規格

規格項目
研磨盤外徑1127mm
夾具 (游星輪) 直徑直徑370mm
DP12,200齒
DP12,Z200
夾具 (游星輪) 數量5 SETS
每次總加工數量6”晶圓: 15片 (pcs) (3pc / carrier)
8”晶圓: 5片 (pcs) (1pc / carrier)
12”晶圓: 5片 (pcs) (1pc / carrier)
自動厚度控制可選配
加壓方式氣壓缸加壓
壓力控制方式電控比例閥
人機介面可選配
控制方向PLC + 人機介面
內齒輪轉盤3HP
上磨盤驅動力5HP
下磨盤驅動力15HP
盤面轉速20 - 60 R.P.M
盤面壓力10 - 300KG
最大加工厚度40mm
最小加工厚度0.4mm
機器尺寸W: 2300 x D: 1420 x H: 2550 mm
機器重量6200kg
適用電源3Ø 220V (3Ø 380V)
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展示雙面研磨機(JL-D16)的研磨流程,包含修整牌面(Adjust grinding plate)、工件裝載(workpiece loading)、研磨(lapping)、工件卸載(workpiece unloading)等實際過程。



展示雙面拋光機(JL-D16)的拋光流程,包含修整牌面(Adjust grinding plate)、工件裝載(workpiece loading)、拋光(polishing)、工件卸載(workpiece unloading)等實際過程。



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準力機械 (16吋) 半導體晶圓雙面研磨 / 拋光機簡述

JL-D16雙面研磨機是一種高效率的表面處理設備,適用於各種非金屬和硬質材料的表面加工。這包括半導體製造中常用的矽晶圓、石英、碳化矽(SIC)、玻璃等。

準力機械股份有限公司是台灣擁有超過20年經驗的專業(16吋) 半導體晶圓雙面研磨 / 拋光機製造商。 我們成立於西元1988年, 在金屬加工機械製造領域上, 準力機械提供專業高品質的製造服務, 準力機械 總是可以達成客戶各種品質要求。

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磨床業跨界半導體排名

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