(16吋) 半导体晶圆双面研磨/ 抛光机

晶圆双面研磨/抛光机,JL-D16的整体外观正视图/準力機械致力于提供世界级的CNC表面研磨机解决方案,以满足客户对精准度和效率的高要求。

(16吋) 半导体晶圆双面研磨/ 抛光机 - 晶圆双面研磨/抛光机,JL-D16的整体外观正视图
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(16吋) 半导体晶圆双面研磨/ 抛光机

JL-D16

JL-D16双面研磨机是一种高效率的表面处理设备,适用于各种非金属和硬质材料的表面加工。这包括半导体制造中常用的矽晶圆、石英、碳化矽(SIC)、玻璃等。

JL-D16具有出色的加工能力,能够实现平面工件的双面研磨或抛光。该机型注重品质,可以实现极小的加工厚度,最小可达到0.4mm。同时,在产品经过加工后,表面的精度可以达到0.3μm,确保高度的加工精确性。
 
这款新型JL-D16双面研磨机兼具双面研磨和抛光功能,实现了两者的一体化,从而提高了工作效率并降低了成本。这使得该设备在表面处理应用中成为一个全面而高效的解决方案。

产品特性

  • 研磨机构:采用游星式运转设计,能够实现最佳的研磨性能和研磨表面效果。研磨机构还具有正逆转功能,这使得研磨过程更加灵活和全面。配备了5组游星轮夹具,可同时放置多个工件进行研磨,提高了生产效率,并确保工件都能获得均匀且高品质的研磨效果。
  • 功能两体一机:可同时为平面工件进行双面研磨或抛光,增加工作效率,及减少成本,且最小加工厚度可达0.4MM,加工后的表面精度可达到0.3μm。
  • 工件多工:具备5组游星轮夹具的特点,能够同时夹持并处理多个工件进行研磨,提升了生产效率和多工件处理的能力,使生产线更具灵活性和适应性。每组游星轮夹具都是独立的夹持装置,可进行独立调整,确保每个工件都获得适当的夹持力和位置。避免同时加工多个工件时不会相互干扰,使整体加工具稳定性和精确性。
  • 智能电控系统:采用PLC控制器,可选配人机介面面板,提供操作者简易的操作性。

选配配件

  • 自动厚度控制功能
  • 人机介面面板

产品应用

  • 非金属及硬碎材料之表面加工:包括矽晶圆、石英、SIC、玻璃、蓝宝石、陶瓷基板,以及加工金属材料,如铝材、不锈钢和机械油封

产品规格

规格项目
研磨盘外径1127mm
夹具(游星轮) 直径 直径370mm
DP12,200齿
DP12,Z200
夹具(游星轮) 数量5 SETS
每次总加工数量 6”晶圆: 15片(pcs) (3pc / carrier)
8”晶圆: 5片(pcs) (1pc / carrier)
12”晶圆: 5片(pcs) (1pc / carrier)
自动厚度控制可选配
加压方式气压缸加压
压力控制方式电控比例阀
人机介面可选配
控制方向PLC + 人机介面
内齿轮转盘3HP
上磨盘驱动力5HP
下磨盘驱动力15HP
盘面转速20 - 60 RPM
盘面压力10 - 300KG
最大加工厚度40mm
最小加工厚度0.4mm
机器尺寸W: 2300 x D: 1420 x H: 2550 mm
机器重量6200kg
适用电源3Ø 220V (3Ø 380V)
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展示双面研磨机(JL-D16)的研磨流程,包含修整牌面(Adjust grinding plate)、工件装载(workpiece loading)、研磨(lapping)、工件卸载(workpiece unloading)等实际过程。



展示双面抛光机(JL-D16)的抛光流程,包含修整牌面(Adjust grinding plate)、工件装载(workpiece loading)、抛光(polishing)、工件卸载(workpiece unloading)等实际过程。



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準力機械(16吋) 半导体晶圆双面研磨/ 抛光机简述

JL-D16双面研磨机是一种高效率的表面处理设备,适用于各种非金属和硬质材料的表面加工。这包括半导体制造中常用的矽晶圆、石英、碳化矽(SIC)、玻璃等。

準力機械股份有限公司是台湾拥有超过20年经验的专业(16吋) 半导体晶圆双面研磨/ 抛光机制造商。 我们成立于西元1988年, 在金属加工机械制造领域上,準力機械提供专业高品质的制造服务,準力機械总是可以达成客户各种品质要求。

优势数据

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磨床业跨界半导体排名

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客户满意度高达

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累积销售量超过(台)